米国物理学協会(American Institute of Physics、AIP)と米国立標準技術研究所(National Institute of Standards and Technology、 NIST)は、このたび、2009年までの最先端ナノエレクトロニクス分析評価技術国際会議(International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics)(旧称「ULSI技術の位置付けおよび計測学国際会議」、Characterization and Metrology for ULSI Technology)の予稿集(PDF)15年分をそれぞれのウェブサイトで無料公開した。AIPはこちら、NISTはこちら。
[ニュースソース]
・AIP and NIST Make Semiconductor Research Freely Available Online – AIP 2011/6/6
・NIST, AIP to Make Semiconductor Research Freely Available Online – NIST 2011/5/24